SFS01 評估套件

Innovative Sensor Technology  SFS評估套件包括 SFS熱質量流量感應器模組和流體塊插座。SFS流量模組監控快速、連續的氣體流量。此流量模組可在工廠進行校準，單位為sccm (ml/min)，重現性為0.2%。流量模組具有硬件地址引腳，適用於多達四個模組和 >100Hz取樣率的系統。SFS01評估套件用於氣體分析儀、氣體混合閥、氣體供應和計量系統、醫療裝置以及分析設備。